Наша продукцiя
ПИУС-3. Вимірювання питомого електричного опору
PIUS-3 PIUS-3

ПИУС-3

ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТИПА ПРОВОДИМОСТИ

Общие сведения

Прибор предназначен для:

1)измерения удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов четырехзондовым методом для образцов неправильной формы, толщина которых и расстояние от любой точки приложения зонда до ближайшего края как минимум в четыре раза больше расстояния между зондами: w/s > 4 (w – толщина образца, s – межзондовое расстояние);

2)измерения удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов четырехзондовым методом для образцов круглого сечения, толщина которых находится в пределах: 0.5 < w/s < 4;

3)измерения относительного радиального изменения удельного электрического сопротивления полупроводниковых пластин, вырезанных из монокристаллов кремния. Образцы должны иметь вид круглых пластин, толщина которых составляет менее половины среднего расстояния между зондами, а диаметр - не менее 15 мм (0,6 дюйма). Прибор позволяет измерить изменение удельного сопротивления между центром и выбранными областями образца;

4)измерения поверхностного сопротивления полупроводниковых материалов;

5)определения типа электропроводности полупроводниковых материалов методом термозонда. Метод термозонда рекомендуется для слитков кремния с удельным электрическим сопротивлением менее 100 Ом*см;

6)определения типа электропроводности полупроводниковых материалов методом вольтамперной характеристики – для слитков кремния с удельным электрическим сопротивлением более 10 Ом*см.

Измерение удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов четырехзондовым методом соответствует стандартам:
1.ASTM Standards F43-99. Standard Test Methods for Resistivity of Semi-conductor Materials.
2.ASTM Standards F81-01. Standard Test Methods for Measuring Radial Re-sistivity Variation on Silicon Wafers.
3.ASTM F84-99.Standard Test Method for Measuring Resistivity of Silicon Wafers With an In-Line Four-Point Probe.

Определение типа электропроводности соответствует стандартам:
1.ГОСТ 19658-81 «Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия».
2.ГОСТ 16153-80 «Германий монокристаллический. Технические условия».
3.ASTM F42-02. Standard Test Methods for Conductivity Type of Extrinsic Semiconducting Materials.

Особенности

  • Высокая точность измерений.
  • Измерение согласно стандартам ASTM F 84, F 43.
  • Автоматическая температурная компенсация результатов измерений.
  • Автоматический выбор тока питания четырехзондовой головки.
  • Графический интерфейс пользователя.

Область применения

Контроль параметров полупроводниковых материалов

Технические характеристики

Напряжение питания 220В,  50Гц
Потребляемая мощность не более 25 Вт
Диапазон измеряемого удельного электрического сопротивления (головка С2080.I, межзондовое расстояние 1,3 мм) 0,006 - 80000 Ом·см
Диапазон измеряемого удельного электрического сопротивления (головка типа "J", межзондовое расстояние 1,59 мм) 0,0008- 100000 Ом·см
Диапазон измеряемого поверхностного сопротивления 0.04-400000 Ом/□
Ток питания четырехзондовой головки 0.125, 1.25, 12.5 125 mkA,
1.25, 12.5 мА
Погрешность установки измерительного тока ±0,5%
Погрешность измерения удельного сопротивления ρ,Ом·см в диапазоне:
ρ < 0.008
0,008 <  ρ < 8000
8000  <  ρ


не более ±5%
не более ±2%
не более ±4%
Погрешность измерения поверхностного сопротивления ρ,Ом/□ в диапазоне:
R < 0.045
0,045 <  R < 4500
8000  <  R


не более ±5%
не более ±2%
не более ±4%
Напряжение питания нагревателя термозонда 12В
Максимальный ток нагревателя термозонда 0.2А
Диапазон УЭС, в котором возможно определение типа электропроводности кремния методом термозонда 0.001-100 Ом*см
Диапазон УЭС, в котором возможно определение типа электропроводности кремния методом ВАХ 10 Ом*см
Диапазон измеряемых температур 0 - 90°С
Погрешность измерения температуры ±0,2°С
Рабочая температура термозонда 50-60ºС
Индикация (сенсорный дисплей) 800x480 точек
Масса не более 1500 г
Габаритные размеры 235 х 220 х 120 мм
Диапазон температур окружающего воздуха 18-28 ºС
Вид климатического исполнение прибора по ГОСТ 15150-69 УХЛ4

Комплект поставки

  • Прибор ПИУС-3.
  • Ручной манипулятор с четырехзондовой головкой С2080.I.
  • Зонд ВАХ.
  • Термо-зонд.
  • Измерительный столик с проводом.
  • Кабель для проверки.
  • Кабель питания.
  • Руководство по эксплуатации. Скачать