  |
ПИУС-3
ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТИПА ПРОВОДИМОСТИ |
Общие сведения
Прибор предназначен для:
1)измерения удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов четырехзондовым методом для образцов неправильной формы, толщина которых и расстояние от любой точки приложения зонда до ближайшего края как минимум в четыре раза больше расстояния между зондами: w/s > 4 (w – толщина образца, s – межзондовое расстояние);
2)измерения удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов четырехзондовым методом для образцов круглого сечения, толщина которых находится в пределах: 0.5 < w/s < 4;
3)измерения относительного радиального изменения удельного электрического сопротивления полупроводниковых пластин, вырезанных из монокристаллов кремния. Образцы должны иметь вид круглых пластин, толщина которых составляет менее половины среднего расстояния между зондами, а диаметр - не менее 15 мм (0,6 дюйма). Прибор позволяет измерить изменение удельного сопротивления между центром и выбранными областями образца;
4)измерения поверхностного сопротивления полупроводниковых материалов;
5)определения типа электропроводности полупроводниковых материалов методом термозонда. Метод термозонда рекомендуется для слитков кремния с удельным электрическим сопротивлением менее 100 Ом*см;
6)определения типа электропроводности полупроводниковых материалов методом вольтамперной характеристики – для слитков кремния с удельным электрическим сопротивлением более 10 Ом*см.
Измерение удельного электрического сопротивления полупроводниковых материалов четырехзондовым методом соответствует стандартам:
1.ASTM Standards F43-99. Standard Test Methods for Resistivity of Semi-conductor Materials.
2.ASTM Standards F81-01. Standard Test Methods for Measuring Radial Re-sistivity Variation on Silicon Wafers.
3.ASTM F84-99.Standard Test Method for Measuring Resistivity of Silicon Wafers With an In-Line Four-Point Probe.
Определение типа электропроводности соответствует стандартам:
1.ГОСТ 19658-81 «Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия».
2.ГОСТ 16153-80 «Германий монокристаллический. Технические условия».
3.ASTM F42-02. Standard Test Methods for Conductivity Type of Extrinsic Semiconducting Materials.
Особенности
- Высокая точность измерений.
- Измерение согласно стандартам ASTM F 84, F 43.
- Автоматическая температурная компенсация результатов измерений.
- Автоматический выбор тока питания четырехзондовой головки.
- Графический интерфейс пользователя.
Область применения
Контроль параметров полупроводниковых материалов
Технические характеристики
| Напряжение питания |
220В, 50Гц |
| Потребляемая мощность |
не более 25 Вт |
| Диапазон измеряемого удельного электрического сопротивления (головка С2080.I, межзондовое расстояние 1,3 мм) |
0,006 - 80000 Ом·см |
| Диапазон измеряемого удельного электрического сопротивления (головка типа "J", межзондовое расстояние 1,59 мм) |
0,0008- 100000 Ом·см |
| Диапазон измеряемого поверхностного сопротивления |
0.04-400000 Ом/□ |
| Ток питания четырехзондовой головки |
0.125, 1.25, 12.5 125 mkA,
1.25, 12.5 мА |
| Погрешность установки измерительного тока |
±0,5% |
Погрешность измерения удельного сопротивления ρ,Ом·см в диапазоне:
ρ < 0.008
0,008 < ρ < 8000
8000 < ρ |
не более ±5%
не более ±2%
не более ±4% |
Погрешность измерения поверхностного сопротивления ρ,Ом/□ в диапазоне:
R < 0.045
0,045 < R < 4500
8000 < R |
не более ±5%
не более ±2%
не более ±4% |
| Напряжение питания нагревателя термозонда |
12В |
| Максимальный ток нагревателя термозонда |
0.2А |
| Диапазон УЭС, в котором возможно определение типа электропроводности кремния методом термозонда |
0.001-100 Ом*см |
| Диапазон УЭС, в котором возможно определение типа электропроводности кремния методом ВАХ |
10 Ом*см |
| Диапазон измеряемых температур |
0 - 90°С |
| Погрешность измерения температуры |
±0,2°С |
| Рабочая температура термозонда |
50-60ºС |
| Индикация (сенсорный дисплей) |
800x480 точек |
| Масса |
не более 1500 г |
| Габаритные размеры |
235 х 220 х 120 мм |
| Диапазон температур окружающего воздуха |
18-28 ºС |
| Вид климатического исполнение прибора по ГОСТ 15150-69 |
УХЛ4 |
Комплект поставки
- Прибор ПИУС-3.
- Ручной манипулятор с четырехзондовой головкой С2080.I.
- Зонд ВАХ.
- Термо-зонд.
- Измерительный столик с проводом.
- Кабель для проверки.
- Кабель питания.
- Руководство по эксплуатации. Скачать
|
