Наша продукцiя
ПИУС-1УМ-К. Измерение удельного электрического сопротивления
PIUS-1UMK1 PIUS-1UMK2
PIUS-1UMK3 PIUS-1UMK4

ПИУС-1УМ-К

ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТИПА ПРОВОДИМОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ

Общие сведения

Прибор ПИУС-1УМ-К предназначен для измерения удельного электрического сопротивления (УЭС) полупроводниковых материалов четырехзондовым методом, а также определения типа проводимости полупроводников методом горячего зонда или методом вольт-амперных характеристик.

Прибор позволяет подключать четырехзонодовые головки двух разных типов, производит измерение удельного электрического сопротивления полупроводников с учетом типа проводимости и текущей температуры материала. Измерения и расчеты производятся в соответствие со стандартами ASTM F 84, F 43.

Индикация результатов измерений производится на большом графическом ЖК-дисплее (128х75 мм видимой части, 240х128 точек). Установка режимов измерений производится в ручном режиме с помощью манипулятора типа “мышь”. Во время измерения, кроме результата, индицируется текущая температура и автоматически определяется соответствие выбранного диапазона измерительного тока, измеряемой величине удельного сопротивления.

Режим вольт-амперных характеристик является индикационным. В этом режиме на экран выводится схематическая вольт-амперная характеристика образца, и по ее ориентации на экране определяется тип проводимости материала.

Параметры установки соответствуют требованиям стандарта ASTM F 84, F 43. Прибор превосходит по функциональным возможностям известные зарубежные аналоги, не уступая при этом им по точностным показателям. Аналогов среди отечественного оборудования не имеет.

Особенности

  • Высокая точность измерений
  • Измерение согласно стандартам ASTM F 84, F 43.
  • Автоматическая температурная компенсация результатов измерений
  • Индикация правильности выбора диапазона измерений
  • Графический интерфейс пользователя

Область применения

  • Контроль параметров полупроводниковых материалов

Технические характеристики

Потребляемая мощность не более 7 Вт
Диапазон измеряемого удельного электрического сопротивления (головка С2080.I, межзондовое расстояние 1,3 мм)
0,0001 - 800 Ом·см *
Входное электрическое сопротивление измерительных каналов
1,2 ГОм
Разрядность аналого-цифрового преобразователя (АЦП) в измерительных каналах
12 бит
Время измерения четырехзондовым методом не более 500 мс
Количество диапазонов измерения УЭС 5
Ток питания четырехзондовой головки 2.5, 25, 250 мкА, 2.5, 25 мА
Погрешность установления измерительного тока ± 0,2%
Погрешность измерения удельного сопротивления r [Ом·см] в диапазоне:
80 < r < 800
8 < r < 80
0.8< r < 8
0,08< r < 0,8
0,008< r < 0,08

не более ± 5%
не более ± 2%
не более ± 2%
не более ± 2%
не более ± 1,5%
Напряжение питание нагревателя термозонда 1,2 - 15 В
Максимальный ток нагревателя термозонда 0,2 А
Диапазон УЭС, в котором возможно определение типа электропроводности методом горячего зонда
0,001 - 100 Ом · см
Диапазон УЭС , в котором возможно определение типа проводимости методом ВАХ
0,5 - 50 Ом · кв
Диапазон измеряемых температур 0 - 90 °С
Погрешность измерения температуры ± 0,2 °С
Масса 2000 г
Габаритные размеры 220 х 110 х 350 мм

*Возможно расширение регистрируемого удельного сопротивления

Комплект поставки

  • Прибор ПИУС-1УМ-К с комплектом зондов
  • Манипулятор типа “мышь”, оптический
  • Выносной датчик температуры
  • Техническое описание. Скачать
  • Программное обеспечение. Скачать демо-версию