|
ПИУС-1УМ-К
ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТИПА ПРОВОДИМОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ |
Общие сведения
Прибор ПИУС-1УМ-К предназначен для измерения удельного электрического сопротивления (УЭС) полупроводниковых материалов четырехзондовым методом, а также определения типа проводимости полупроводников методом горячего зонда или методом вольт-амперных характеристик.
Прибор позволяет подключать четырехзонодовые головки двух разных типов, производит измерение удельного электрического сопротивления полупроводников с учетом типа проводимости и текущей температуры материала. Измерения и расчеты производятся в соответствие со стандартами ASTM F 84, F 43.
Индикация результатов измерений производится на большом графическом ЖК-дисплее (128х75 мм видимой части, 240х128 точек). Установка режимов измерений производится в ручном режиме с помощью манипулятора типа “мышь”. Во время измерения, кроме результата, индицируется текущая температура и автоматически определяется соответствие выбранного диапазона измерительного тока, измеряемой величине удельного сопротивления.
Режим вольт-амперных характеристик является индикационным. В этом режиме на экран выводится схематическая вольт-амперная характеристика образца, и по ее ориентации на экране определяется тип проводимости материала.
Параметры установки соответствуют требованиям стандарта ASTM F 84, F 43. Прибор превосходит по функциональным возможностям известные зарубежные аналоги, не уступая при этом им по точностным показателям. Аналогов среди отечественного оборудования не имеет.
Особенности
- Высокая точность измерений
- Измерение согласно стандартам ASTM F 84, F 43.
- Автоматическая температурная компенсация результатов измерений
- Индикация правильности выбора диапазона измерений
- Графический интерфейс пользователя
Область применения
- Контроль параметров полупроводниковых материалов
Технические характеристики
Потребляемая мощность |
не более 7 Вт |
Диапазон измеряемого удельного электрического сопротивления (головка С2080.I, межзондовое расстояние 1,3 мм) |
0,0001 - 800 Ом·см * |
Входное электрическое сопротивление измерительных каналов |
1,2 ГОм |
Разрядность аналого-цифрового преобразователя (АЦП) в измерительных каналах |
12 бит |
Время измерения четырехзондовым методом |
не более 500 мс |
Количество диапазонов измерения УЭС |
5 |
Ток питания четырехзондовой головки |
2.5, 25, 250 мкА, 2.5, 25 мА |
Погрешность установления измерительного тока |
± 0,2% |
Погрешность измерения удельного сопротивления r [Ом·см] в диапазоне: 80 < r < 800 8 < r < 80 0.8< r < 8 0,08< r < 0,8 0,008< r < 0,08 |
не более ± 5% не более ± 2% не более ± 2% не более ± 2% не более ± 1,5% |
Напряжение питание нагревателя термозонда |
1,2 - 15 В |
Максимальный ток нагревателя термозонда |
0,2 А |
Диапазон УЭС, в котором возможно определение типа электропроводности методом горячего зонда |
0,001 - 100 Ом · см |
Диапазон УЭС , в котором возможно определение типа проводимости методом ВАХ |
0,5 - 50 Ом · кв |
Диапазон измеряемых температур |
0 - 90 °С |
Погрешность измерения температуры |
± 0,2 °С |
Масса |
2000 г |
Габаритные размеры |
220 х 110 х 350 мм |
*Возможно расширение регистрируемого удельного сопротивления
Комплект поставки
- Прибор ПИУС-1УМ-К с комплектом зондов
- Манипулятор типа “мышь”, оптический
- Выносной датчик температуры
- Техническое описание. Скачать
- Программное обеспечение. Скачать демо-версию
|